臭氧的化学性质极不平稳，在空气和水中都会慢慢分解成氧气，其反应式为：

     2O3 → 3O2#+ 285kJ            

因为溶解时释放很多热量，故当其含水量在25%之上时，比较容易发生爆炸。但通常臭氧化空气中臭氧的含水量难以超出10%，在中型臭氧发生器用以生活用水解决的很长时间全过程中，都还没一个氧发生爆炸的例证。

含水量为1%下列的臭氧，在常温下常压的空气中溶解半衰为16h上下。随之溫度的上升，溶解速度加快，溫度超出100℃时，溶解十分强烈，超过270℃高温时，可马上转换为氧气。臭氧在水中的溶解速度比空气中快的多，在带有残渣的水溶液中臭氧迅速回应到形成它的氧气。如水中臭氧浓度为6.25×10-5mol/L（3mg/L）时，其半衰为5～30min，但在纯水中溶解速度较慢，当在蒸馏水或生活用水中的半衰大约是20min（20℃），然而在二次蒸馏水中，经过85min后臭氧溶解只有10%，若水温贴近0℃时，臭氧会变得越发平稳。

臭氧发生器是制取臭氧化气体的专用设备，

臭氧发生器是产生臭氧所必需的装置，主要包括臭氧发生装置和电源装置两大部分，涉及机械、电气电子、材料、自动化、化工、化学等多门科学。大多臭氧发生器的产生臭氧的原理为气隙电晕放电，即是利用高速电子轰击干燥的含氧气体，将氧分子其分解成氧原子，紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧。

 中型臭氧发生器设备有自身的稳定性，但是在长期不使用的情况下会产生电路、机械等老化，但不至于很快不能使用