臭氧发生器是利用高压放电原理,实现由氧气转化为臭氧的过程。即将高压交流电加在中间隔有绝缘体并有一定间隙的高压电极上。让经过的干燥净化空气或氧气通过。当高压交流电达到10-15KV时,产生紫色辉光放电[电晕]从而将空气或氧气的氧分子或原子激化成臭氧。臭氧的形成随所加的电源电压,电流等变化。
臭氧发生器开始工作时,将无油空气压缩机中的空气压进臭氧发生器的冷却器和储气罐,空气通过无热再生干燥装置并由流量计控制其气体流量和速度,由此气源进入臭氧发生单元。此时臭氧发生单元内调压器调节变压器将压力升至12000V左右,操作人员可通过视镜观察臭氧产生状况和辉光放电状况。变压器继续使压力逐步上升至15000V左右并至稳定状态,操作人员观察各仪表运转情况至稳定状态。